帶視頻瞄準(zhǔn)的紅外測溫儀解雇半導(dǎo)體薄膜沉積工藝解決方案
被測物可能被離子云包裹
-
多次加熱工況中，對(duì)測溫儀重復(fù)性與穩(wěn)定性要求高
-
襯底材料會(huì)發(fā)生變化，要求測溫儀有不同的應(yīng)對(duì)方案
-
須透過視窗測量，推薦使用紅外視窗材料
場景特點(diǎn)
-
需維持在高溫狀態(tài)（LPCVD 500~800℃，MOCVD 500~1200℃）
-
生產(chǎn)過程中隨著反應(yīng)狀態(tài)的變化，溫度也需進(jìn)行調(diào)整，故而對(duì)測溫儀的響應(yīng)速度要求較高
匹配產(chǎn)品
-
我司提供產(chǎn)品作為解決方案：IGA 6-TV、IGAR 6-TV
技術(shù)指標(biāo)
型號(hào)指標(biāo)類型IGA 6-TVIGAR 6-TV測溫范圍250...2500℃100...2000℃測量波段1.45...1.8μm波段1: 1.5...1.6μm;波段2: 2.0...2.5μm分辨率數(shù)字接口：0.1℃模擬輸出<溫度范圍的0.0015%數(shù)字接口：0.1℃模擬輸出<溫度范圍的0.0015%響應(yīng)時(shí)間120μs2ms測量精度讀數(shù)的0.3%±2℃（<1500℃）讀數(shù)的0.6%（>1500℃）測量值的0.4%±2℃（<1500℃）測量值的0.8% （>1500℃）重復(fù)性讀數(shù)的0.15%+1℃測量值的0.2%+1℃瞄準(zhǔn)方式視頻瞄準(zhǔn)，彩色圖像。帶有瞄準(zhǔn)指示光圈視頻瞄準(zhǔn)，彩色圖像。帶有瞄準(zhǔn)指示光圈環(huán)境溫度外殼上0-70℃外殼0-65℃測量模式單色雙色/單色/金屬模式，可切換防護(hù)等級(jí)IP65IP65
